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发布日期:2021年10月22日
300系列光刻机 —— LED、MEMS、Power Devices制造


SSB300

SSB380

SSB320

SSB300系列步进投影光刻机面向6英寸以下中小基底先进光刻应用领域,满足HB-LED、MEMS和Power Devices等领域单面或双面光刻工艺需求。
  产品特征

● 高分辨率,分辨率可达0.8μm

年轻人影院www无弹窗全文阅读 年轻人影院www无弹窗 ,溜溜吧668最新章节 溜溜吧668最新章节免费阅读● 高速在线MAPPING技术

● 高精度拼接

● 多尺寸基底自适应切换

● 高产能

● 高精度套刻

● 完美匹配ALIGNER

  主要技术参数

 型号 SSB300 SSB320 SSB380
 分辨率 0.8μm2μm 1.5μm
 曝光光源 i-line mercury lamp i-line mercury lampi-line mercury lamp
 基底尺寸100/150 mm100/150 mm100/150mm
 工艺应用 支持LED PAD/PSS工艺支持LED PAD工艺支持LED PAD工艺

 可选配置

 背面对准和可变狭缝(Variable Slit)

 背面对准和可变狭缝(Variable Slit)

 背面对准和可变狭缝(Variable Slit)